激光束可以聚焦到很小的尺寸，因而特別適合於精密（mì）加（jiā）工。按照（zhào）加工材料的尺寸（cùn）大小和（hé）加工的精度要求，將目前的激光加（jiā）工技術（shù）分為三個層次（cì）：
（1）大型件材料激光加工技術，以厚板（bǎn）（數毫米至幾十毫米）為主要對象，其加（jiā）工精度一般在毫米（mǐ）或者亞毫米級；
（2）精密激光加工技術，以薄（báo）板（0．1～1．0 mm）為主要加工對象，其加工精（jīng）度一般在十微米級；
（3）激光微細（xì）加工技（jì）術，針對厚度在100μm以下的（de）各種薄（báo）膜為主要加工對象，其加工精度一般在十微米以下甚至（zhì）亞微（wēi）米級。
在機械（xiè）行業中，精密通常是指表麵粗糙度小、各種公差（包（bāo）括位置、形狀、尺寸等）範圍小。這裏所說的“精密”，是指被加工區域（yù）的縫隙小，就是說加工所能達到的（de）極限尺寸（cùn）小。
在上述（shù）三類（lèi）激光加工中，大型件（jiàn）的激光加工技術已經日趨成熟（shú），產業化的程度已經非常高；激光（guāng）微細（xì）加工技術如（rú）激光微（wēi）調、激光精密刻蝕、激（jī）光直（zhí）寫技術等也已在工業上得（dé）到了較為廣泛的應（yīng）用。
